應(yīng)用領(lǐng)域：納米級(jí)精度要求單軸和多軸復(fù)合運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.非接觸式氣浮導(dǎo)軌，無(wú)磨損

2.直線度、平面度相比機(jī)械式有質(zhì)的提升，可達(dá)0.7 μm 內(nèi)?

3.Pich、Yaw可達(dá)±2 arc sec內(nèi)

4.高重復(fù)和定位精度，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.1 μm? ? ??

5.高運(yùn)行平穩(wěn)性，速度波動(dòng)可達(dá)0.1%

6.可采用鋁合金、大理石、碳化硅等多種方案定制? ? ??

7.結(jié)構(gòu)定制，客制化程度高