應(yīng)用領(lǐng)域：納米級(jí)精度要求旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.非接觸式氣浮軸承，無(wú)磨損

2.軸跳和端跳，可達(dá)±0.1 μm, 擺角角度±2μrad? ? ??

3.Pich、Yaw可達(dá)±2 arc sec內(nèi)

4.高重復(fù)和定位精度，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.4μrad?

5.高運(yùn)行平穩(wěn)性

6.可采用鋁合金、大理石、碳化硅等多種方案定制